T360是維開科技開發(fā)的一款緊湊型電阻蒸發(fā)系統(tǒng)，占地面積小，功能強大，自動化控制程度高，維護簡單，可以滿足實驗室研發(fā)和小批量生產(chǎn)需求。

§ 自動進樣室：

單片/多片全自動進樣室，可選配

§ 抽氣系統(tǒng)：

低溫泵/磁懸浮分子泵+干式機械泵

§ 真空檢測：

全量程真空規(guī)

§ 電源功率：

最大8千瓦

§ 離子源：

霍爾離子源

§ 膜厚監(jiān)控：

晶振控制器

§ 掛具類型：

穹頂式/克努曾/平盤式

§ 工件角度：

-45°至+45°可調(diào)

§ 極限真空度：

1E-5Pa

§ 工件盤控溫：

-50℃至500℃

§ 均勻可鍍區(qū)：

最大?200mm

§ 鍍膜均勻性：

±3%

§ 鍍膜重復(fù)性：

±2%

§ 占地面積：

3.3m（長）*3.0m（寬）*2.5m（高）