T550Z是維開科技為高質(zhì)量的ZnS沉積工藝開發(fā)的一款專用電阻蒸發(fā)系統(tǒng)，功能強(qiáng)大，穩(wěn)定可靠，自動(dòng)化控制程度高，維護(hù)簡(jiǎn)單，可以滿足專業(yè)的ZnS沉積工藝需求。

§ 不銹鋼真空腔：550mm（寬）*750mm（高）

§ 均勻可鍍區(qū)：最大?200mm

§ 鍍膜均勻性：±3%

§ 極限真空度：1E-5Pa

§ 電阻源功率：最大8千瓦

§ 坩堝數(shù)量：最多2個(gè)

§ 離子源：可選配

§ 膜厚監(jiān)控：晶振控制器

§ 抽氣系統(tǒng)：低溫泵/磁懸浮分子泵+干式機(jī)械泵/普通機(jī)械泵

§ 真空檢測(cè)：全量程真空規(guī)

§ 占地面積：1.5m（長(zhǎng)）*1.5m（寬）*2.2m（高）

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